2022-04-08 半导体废气处理方法介绍
半导体行业对操纵室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气进行废气处理，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。所以，半导体废气处理方法一般采用先浓缩然后进行燃烧处理，下面跟恒峰蓝小编一起来了解下。
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